Polerowanie

(co polio szer. gładkie ), obróbka wykończeniowa pola różnych. materiał zmniejszyć chropowatość (wysokość mikrochropowatości) do wartości mniejszej od 0, 1 mm, aby stworzyć specyficzne wiązanie-In (wysoki współczynnik. odbicia dekoracyjny połysk), oczyszczanie, dokładne wymiary produktu i niezakłóconego strukturze materiału warstw powierzchniowych. P. przeprowadzone: miejscowe najcieńszych warstw materiału przez cięcie ziarna ścierne określone w polerki lub elastycznego pasa (mechaniczny PA); rozpuszczanie w polerowaniu etchantów (chemiczne p.); wspólny związek chemiczny. i futro. wpływ na przetwarzane pole specjalne. zawiesiny (chemiczno-mechaniczne AP, stosowane w przetwarzaniu półprzewodników i niektórych innych materiałów); Elektrolityczny. wytrawianie (elektrochemiczne str.); chem. racja z pochłaniaczami gazu (gazowy chemiczny P.).

Inżynieria mechaniczna jest stosowana w inżynierii maszyn i przyrządów do obróbki części wykonanych z metali, stopów, optycznych. szkło, tworzywa sztuczne, w mikroelektronice do obróbki półprzewodników i półprzewodników dielektrycznych. materiały i materiały z podłoży. Płyty przyklejone do płyty czołowej, a następnie zamontowana na napędzanej obrotowo tarczy polerskiej pokrytą (skóra, zamszu, poliuretanu Art.) Materiału tkaniny (tkaniny, batystową satynowe) lub włókniny.Powinien on cechować się wysoką odpornością na zużycie i wysoką temperaturę oraz zapewniać mocowanie ziaren ściernych w porach lub stosie. W tarczy polerującej stosowane Przygotowano gęstwę ze ścierniwem podstawie proszków diamentowych, węgliki B 4 C i SiC korund A1 2 S 3 tlenki Fe 2 S 3 , CeO 2 Cr 2 S 3 o wielkości ziarna od 0, 2 do 5 mikronów. Gdy części mechaniczne o kształcie kołowym lub złożonym są używane cylindrycznie. polerki lub gumki.

Chemikalia są przeprowadzane w zbiorniku napełnionym środkiem trawiącym, obracającym się wokół jego osi i ładującym jeden lub kilka. puste, a także inne sposoby.

S. chemiczno-mechaniczne odbywa się w ten sam sposób, jak mechaniczne P., ale wytwarza się zawiesinę proszku na bazie SiC

2 i ZrC 2 zawieszono w p-os zasady. Alkalia z przetworzonym materiałem tworzą związek. o niższej twardości niż sam materiał, które są usuwane w kontakcie z polerką i ziarnami ściernymi.

Elektrochemiczne AP jest przeprowadzane w kąpielach z r-rhami zasadami, k-t i solami, prąd przez anodę i elektrolit.

Chemikalia gazowe służą do usuwania zanieczyszczeń i warstwy materiału o uszkodzonej strukturze z powierzchni płytek krzemowych. Gazy zawierające chlorowiec są podawane na przykład do reaktora. HC1 i Si + 4HC1 :: SiCU

4 Otrzymany p-nia + 2H 2 T-D ok. 1200 ° C, zachodzi trawienie krzemu. Zobacz także Polerowanie, Wytrawianie. p. N. Nikiforova-Denisova.

Encyklopedia chemiczna. - M .: radziecka encyklopedia. Ed. I. L. Knunyants. 1988.